НОВОСТИ
Новый класс гетероструктур AlGaAs/GaAs
выращенных методом МОС-гидридной эпитаксии. Читайте статью в журнале Crystals v.9, 2019
ПодробнееXIV Российская конференция по физике полупроводников в сентябре
Наши коллеги примут участие в конференции и представят ряд докладов
ПодробнееСравнительный анализ квантовых ям GaAs/GaInP и GaAs/AlGaAs
полученных в условиях МОС-гидридной эпитаксии. Читайте в журнале «Неорганические материалы», том 55, №4, 2019
Подробнее«Сигм плюс» на 18-м европейском семинаре EW-MOVPE 2019, Литва
Наши специалисты примут участие в международном семинаре по газо-фазной эпитаксии EW-MOVPE, которая пройдет в Вильнюсе с 16 по 19 июня
Подробнее"Сигм плюс" и CS Clean Solutions AG приглашают на выставку SEMIEXPO
Выставка пройдет 14-15 мая в Экспоцентре на Красной Пресне, Павильон 7. Встречаемся на стенде В12
ПодробнееEpiX - модульная система исследования полупроводниковых пластин
Система 2D картирования пластин EpiX для научно-исследовательских разработок в области полупроводниковой эпитаксии
ПодробнееXXIII международный симпозиум «Нанофизика и наноэлектроника» в марте
Наши коллеги примут участие в работе симпозиума и представят свои результаты
ПодробнееОценка условий труда по ФЗ № 426
Компания "Сигм плюс" провела обязательную оценку условий труда рабочих мест
ПодробнееСИСТЕМА НЕЙТРАЛИЗАЦИИ ОТХОДЯЩИХ ГАЗОВ CS CLEAN SOLUTIONS УСПЕШНО ПРОИНСТАЛЛИРОВАНА НА ЗАВОДЕ ПО ПРОИЗВОДСТВУ МЭМС ОПТИКИ ДЛЯ КОМПАНИИ MAPPER В ТЕХНОПОЛИСЕ МОСКВА 2014-07-23
Голландская компания Mapper Lithography Holding B.V. более 10 лет разрабатывает технологию электронно-лучевой безмасочной литографии, которая в настоящее время является наиболее перспективной альтернативой оптической литографии в производстве микросхем. Как известно, оптическая литография уже фактически достигла своего технологического предела 18 нм (для жесткого ультрафиолета - EUV). В технологии Mapper экспонирование фоторезистивного слоя производится электронным пучком вместо света. Основным преимуществом Mapper перед конкурирующей технологией EUV является отсутствие дорогостоящих масок, которые в оптической литографии нужно изготавливать для каждого типа микросхем. Это может существенно снизить стоимость конечной продукции, особенно при мелкосерийном производстве.
В 2012 году корпорация РОСНАНО наряду с другими фондами инвестировала в компанию Mapper Lithography. В рамках проекта предполагается завершение разработки и начало производства литографического оборудования. Вторая часть проекта заключается в открытии в России линии по производству электронной оптики МЭМС. Электронная оптика используется для отклонения и фокусировки множества электронных пучков при экспонировании пластины и, таким образом, является ключевым элементом технологии MAPPER. Завод по производству МЭМС оптики планируется открыть в технополисе «Москва»- новом российском центре инновационного производства, расположенном недалеко от центра Москвы на территории бывшего автозавода «Москвич» (подробнее о технополисе: www.technomoscow.ru).
Производство МЭМС элементов, как и любое полупроводниковое производство, предполагает использование специальных технологических газов, большинство из которых являются самовоспламеняющимися, токсичными и агрессивными веществами. В связи с этим остро встает проблема защиты персонала и окружающей среды, связанная с необходимостью нейтрализации отходящих газов. На новом заводе по производству электронной оптики для этой цели была выбрана система CLEANSORB производства немецкой компании CS Clean Solutions, имеющей более чем двадцатипятилетний опыт обслуживания индустрии полупроводников.
Система нейтрализации отходящих газов CLEANSORB нейтрализует опасные технологические газы методом химического преобразования (хемосорбции) в стабильные соли при температуре окружающей среды. Для ее функционирования не требуется внешний нагрев, увлажнение или другие специальные условия. Таким образом, система CLEANSORB – полностью пассивная система, всегда готовая к работе даже в случае пропадания электропитания или отказа других устройств. Кроме того, немаловажным фактором при выборе именно этой системы послужил тот факт, что техническое обслуживание и перезаправка отработанных модулей CLEANSORB осуществляется на территории России авторизованными производителем специалистами компании Сигм плюс.
Источники:
http://www.rusnano.com/projects/portfolio/mapper
http://www.technomoscow.ru
http://www.cscleansystems.com/products_cleansorb.html
http://habrahabr.ru/post/213379/